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超高真空光學(xué)拉曼光譜測試系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品時(shí)間:2024-07-11
  • 簡要描述:超高真空光學(xué)拉曼光譜測試系統(tǒng),將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對(duì)接于超高真空系統(tǒng),可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測節(jié)點(diǎn)之一,用于材 料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對(duì)外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無損檢測。
  • 產(chǎn)品介紹

超高真空光學(xué)顯微鏡/光譜儀測試系統(tǒng)

Ultra-high Vacuum (UHV) Optical / SpectroscopicMicroscope System

將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對(duì)接于超高真空系統(tǒng),可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測節(jié)點(diǎn)之一,用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對(duì)外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無損檢測。

超高真空光學(xué)拉曼光譜測試系統(tǒng)

產(chǎn)品特性和核心技術(shù)

模塊化設(shè)計(jì),光學(xué)部分相對(duì)獨(dú)立。

·包含光學(xué)顯微鏡、激光離焦量傳感器、自動(dòng)調(diào)焦和共聚焦耦合光路等等在內(nèi)的全部光學(xué)部分全部集成于一個(gè)光學(xué)模組之中,作為整體置于超高真空腔體之外,透過視窗玻璃聚焦于真空腔內(nèi)的樣品表面。

·不污染真空內(nèi)環(huán)境。

·超高真空系統(tǒng)烘烤時(shí)可以整體取走,并在烘烤完畢之后方便地定位安裝。

·可根據(jù)用戶需求,靈活配置激光器、單色儀、探測器和物鏡等光學(xué)組件。

視窗玻璃厚度像差的補(bǔ)償校正。

·拉曼光譜的高收集效率和分辨率。

性能參數(shù):

超高真空光學(xué)拉曼光譜測試系統(tǒng)

注:上述表格中的激光波長、物鏡和單色儀等部件可以根據(jù)客戶需求調(diào)整。

測試案例:

超高真空光學(xué)拉曼光譜測試系統(tǒng)

超高真空長工作距離(120 mm)顯微測試

超高真空光學(xué)拉曼光譜測試系統(tǒng)



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